透射電鏡與掃描電鏡
實驗介紹
透射電子顯微鏡(transmission electron microscope,TSE)是利用透射電子成像,因而要求樣品極薄厚度不能超100nm。其結構包括三大部分:電子學系統、真空系統和電子光學系統。
掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscopy,SEM) 是利用聚焦的非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試樣表面形貌的觀察。其結構由真空系統,電子束系統以及成像系統組成。
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